Un produttore leader di apparecchiature per semiconduttori in Cina utilizza il 99%barre ceramiche di allumina ad elevata purezzaIn qualità di componenti di supporto di precisione fondamentali della cavità dell'apparecchiatura, in sostituzione della struttura di supporto originale in acciaio inossidabile, si ottiene un duplice miglioramento delle prestazioni dell'apparecchiatura e dell'efficienza operativa.
Alta precisione personalizzataasta ceramica di alluminaCon una superficie liscia e piatta, che combina le caratteristiche fondamentali di elevata rigidità, basso coefficiente di dilatazione termica, resistenza alla corrosione da plasma, elevato isolamento e bassa precipitazione di polvere, si adatta perfettamente alle difficili condizioni di lavoro di pulizia, alta precisione e funzionamento continuo delle apparecchiature di incisione. Questa barra ceramica viene utilizzata principalmente per fissare i componenti di rilevamento ottico e le strutture di delimitazione del wafer all'interno dell'apparecchiatura e svolge un ruolo fondamentale nel supporto preciso, nella calibrazione del posizionamento, nell'isolamento e nella protezione, garantendo la stabilità strutturale dell'apparecchiatura durante il funzionamento alternato ad alta velocità.
