Ceramica di allumina per semiconduttori
Ceramica di alluminaSono ampiamente utilizzati in vari componenti delle apparecchiature per la produzione di semiconduttori. Ad esempio, nelle apparecchiature per la deposizione chimica da vapore (CVD), i componenti della camera di reazione in ceramica di allumina possono resistere ad ambienti difficili come alte temperature e corrosione chimica, garantendo la stabilità e la costanza del processo di reazione. Nelle apparecchiature litografiche,ceramiche di alluminavengono utilizzati per realizzare piattaforme ottiche ad alta precisione e componenti portanti, e la loro elevata durezza e stabilità dimensionale contribuiscono a garantire l'accuratezza e la ripetibilità della litografia.
Con lo sviluppo dei dispositivi semiconduttori verso la miniaturizzazione e le elevate prestazioni, aumentano anche i requisiti dei materiali di imballaggio elettronici.Ceramica di alluminaPresentano una buona conduttività termica, isolamento elettrico e proprietà meccaniche, che possono dissipare efficacemente il calore generato dal chip, proteggendolo al contempo dalle influenze ambientali esterne. Ad esempio, nel packaging ceramico multistrato (MLCC),ceramica di alluminafunge da materiale di substrato, garantendo connessioni elettriche affidabili e supporto fisico per il chip.
Ceramica di alluminapresentano un'eccellente stabilità chimica e resistenza alle alte temperature, il che li rende un materiale ideale per la produzione di sensori a semiconduttore. Ad esempio, nei sensori di gas,ceramiche di alluminafungono da supporti per componenti sensibili, che possono funzionare stabilmente in ambienti difficili come alte temperature e alta umidità, e hanno un'elevata sensibilità e capacità di rilevamento selettivo per gas specifici. Nei sensori di pressione, l'elevata resistenza meccanica e la stabilità diceramiche di alluminapuò garantire che il sensore possa misurare con precisione le variazioni di pressione anche in condizioni di stress a lungo termine.
ILceramica di alluminaL'induttore a spirale planare realizzato con la tecnologia dei semiconduttori può aumentare la frequenza autoarmonica dell'induttore. Utilizzando un analizzatore di rete con metodo single-ended per testare il valore S, è possibile ricavare i valori di induttanza e Q. La ricerca ha dimostrato che parametri dell'elettrodo come larghezza, spaziatura, spire e raggio della bobina hanno un impatto significativo sul valore di induttanza e sul fattore di qualità. Nell'intervallo di bassa frequenza, i risultati del test sono coerenti con i risultati della simulazione, ma all'aumentare della frequenza, la differenza aumenta a causa dell'effetto parassita della sonda di prova.